获奖企业：英诺激光科技股份有限公司

申报产品

超快深紫外皮秒激光器 AMT-266-3W-70MHZ

主要用途及该产品及服务的时长

英诺激光在 2022年推出AMT-266-3W-70MHZ。AMT-266皮秒激光器拥有衍射极限的光束质量，极窄的光谱线宽，匹配晶圆缺陷检测的高空间分辨率、高灵敏度和高效率需求。晶圆缺陷检测是发展芯片技术至关重要的一环，当前国产芯片节点正向28 nm以下推进，相应的芯片晶圆缺陷检测需在空间分辨、灵敏度和效率等方面加以提升。发展高重频、高功率深紫外激光是提升亚28nm芯片晶圆缺陷检测水平的重要发展方向。高重频高功率深紫外超快激光器是晶圆缺陷检测装备的核心部件，长期被国外垄断，并且面临被卡脖子风险。

技术参数

波长：266nm

平均功率：＞3W

脉冲能量：＞0.043@70MHz

指定频率：70MHz

线宽：＜50pm

脉宽：＜50ps

平均功率稳定性@8hrs(RMS): <1%;

光束质量㎡：＜1.2

冷却方式：水冷

光斑圆度：＞90%

光束直径：~2±20%

发散角：＜260 urad

脉冲-脉冲稳定性：＜10%

产品特点

AMT-266皮秒激光器可以通过内外控信号触发，实现同步输出功能。

1.      高端应用：AMT-266皮秒激光器可输出深紫外波长 266nm，主要应用于28nm及以下节点制程的芯片缺陷检测，助力半导体检测装备国产化，也可应用于大口径光学元件表面形貌检测、高分子材料切割和高密度信息存储等领域。

2.      AMT-266皮秒激光器基于长寿命高重频超快锁模技术开发平台，实现高功率深紫外稳定输出，长期稳定可靠，单点寿命大于1000hrs，整机寿命大于2000hrs，满足半导体工业的应用标准。

3.      关键指标达到国际一流水平：通过行业领先的倍频技术，光束质量M平方因子<1.2，可靠的功率稳定性<3 %，卓越的光斑圆度（>90%），可实现优异的激光加工质量。

4.      AMT-266皮秒激光器采用水冷冷却方式，腔体机构坚固，整机防应力设计充分，是性能和稳定性的完美结合，适合各种高挑战性应用场景。

5.      AMT-266皮秒激光器可以通过内外控信号触发，实现同步输出功能。

产品创新

1.     AMT-266-3W-70MHZ可输出深紫外波长 266nm，功率高达3W。高功率、高重频、深紫外输出，提高了检测应用的空间分辨率、灵敏度和效率，符合28nm及以下节点芯片制程的晶圆缺陷检测需求。

2.     AMT-266皮秒激光器拥有全新设计的光学系统，使得关键指标光束质量达到国际一流水平：M平方因子<1.2和卓越的光斑圆度（>90%）

3.     AMT-266皮秒激光器激光器有四倍频换点功能，先进的换点技术能保证换点后光束质量、光斑大小 、光束指向性不变，延长晶体使用寿命，提高机器稳定性。

4.     AMT-266皮秒激光器拥有自研高性能高可靠性的核心模块，如超快种子源、非线性晶体的高温加热炉等，保证了整机系统的长期可靠性，实现单点寿命大于1000hrs，整机寿命大于2000hrs。

5.     AMT-266皮秒激光器由空气洁净系统，可以对腔内进行清洁，延长晶体使用寿命，空气洁净系统维护、更换方便。

市场情况

国内首先推出工业化的高重频高功率深紫外固体激光器，核心指标（光束质量M平方因子、光谱线宽、单点和整机寿命）达到国际同行（美国Coherent、日本Oxide）领先水平。通过国内行业关键客户的性能测试和单点1000hrs 寿命测试，达到28nm以及更先进制程的晶圆缺陷检测设备的需求，实现小批量生产。